关于发布《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》系列标准的公告
各有关单位：
《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》（标准号T/CSCP 0059-2025）为系列团体标准，包括以下5个部分：
第1部分：通用要求
第2部分：选材与评价
第3部分：测试方法
第4部分：元器件选型及测试
第5部分：电路设计及测试
该5项标准已经由中国腐蚀与防护学会组织专家审议通过，现予发布。
自2025年10月1日起实施。
中国腐蚀与防护学会
2025年9月1日
中腐标字〔2025〕17号 关于发布《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》系列标准的公告.pdf
TCSCP 0059.1《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第1部分：通用要求》.pdf
TCSCP 0059.2《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第2部分：选材与评价》.pdf
TCSCP 0059.3《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第3部分：测试方法》.pdf
TCSCP 0059.4《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第4部分：元器件选型及测试》.pdf
TCSCP 0059.5《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第5部分：电路设计及测试》.pdf
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