中腐标字〔2025〕9号

各有关单位：

由北京科技大学、南方电网科学研究院有限责任公司、中国电力科学研究院有限公司等单位负责起草制定的《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》系列团体标准已完成征求意见稿。目前，该标准由5个部分构成：

第1部分：通用性设计标准

第2部分：通用性选材标准

第3部分：通用性测试标准

第4部分：元器件选型及测试

第5部分：电路设计及测试

为使新制定的标准更科学、合理，较好地满足生产及使用的要求，请各有关单位根据本单位生产或使用具体情况，针对上述标准内容提出宝贵意见和建议，并于2025年7月4日前将意见反馈给我们。逾期未反馈视为无意见。

标准起草工作组：

联系人：杨小佳

电话：15210604531

邮箱：yangxiaojia@ustb.edu.cn

中国腐蚀与防护学会：

联系人：张小红、张婷 

电话：010-62320080、010-62332201

邮箱：zhangting@cscp.org.cn

附件：1、《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第1部分：通用性设计标准》（征求意见稿）

      2、《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第2部分：通用性选材标准》（征求意见稿）

      3、《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第3部分：通用性测试标准》（征求意见稿）    

      4、《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第4部分：元器件选型及测试》（征求意见稿）

      5、《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第5部分：电路设计及测试》（征求意见稿） 

      6、团体标准征求意见表

中腐标字〔2025〕9号 关于公开征求《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器（征求意见稿）》等5项团体标准意见的通知.pdf

附件1《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第1部分：通用性设计标准》（征求意见稿）.docx

附件2《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第2部分：通用性选材标准》（征求意见稿）.docx

附件3《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第3部分：通用性测试标准》（征求意见稿）.docx

附件4《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第4部分：元器件选型及测试》（征求意见稿）.docx

附件5《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第5部分：电路设计及测试》（征求意见稿）.docx

附件6 团体标准征求意见表.docx